发明名称 易调校的风刀装置及其卷对卷制程处理系统
摘要
申请公布号 TWM501639 申请公布日期 2015.05.21
申请号 TW104201520 申请日期 2015.01.30
申请人 亚智科技股份有限公司 发明人 游柏清;蔡奇哲;邹家弘;蓝受龙
分类号 H01L21/67 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人 谢佩玲 台北市大安区罗斯福路2段107号12楼;王耀华 台北市大安区罗斯福路2段107号12楼
主权项 一种易调校的风刀装置,包括:二风刀机构,每一该风刀机构具有一出风口;一第一调整板,设置在该二风刀机构的一侧,该第一调整板具有二第一槽道;一第一枢接单元,穿固于该第一调整板并配置在该二第一槽道之间,该第一枢接单元设有一第一轴向穿孔;以及一第一侧板组件,安装在该二风刀机构与该第一调整板之间,该第一侧板组件包含二第一风刀侧板,每一该第一风刀侧板具有一第一固定端与一第一枢接端,各该第一固定端分别设置并结合各该风刀机构与各该第一槽道,该复数第一枢接端相互叠设并枢接于该第一枢接单元,每一该第一风刀侧板的宽度与该风刀机构的宽度大致上相等;其中,该二出风口呈相互面对设置,并且该二出风口的出风交叉区域重叠于该第一轴向穿孔的通孔方向。
地址 桃园市中坜区自强三路3号