共轴数字全息显微成像装置及检测玻璃亚表面缺陷的方法

摘要

本发明公开了一种共轴数字全息显微成像装置及检测玻璃亚表面缺陷的方法，该装置基于双光束干涉原理成像，包括沿光路方向依次共光轴设置的He-Ne激光器、准直透镜、样品、显微物镜和电荷耦合器，其中电荷耦合器的信号输出端接入计算机；He-Ne激光器发出激光后，经过准直透镜得到准直光束照射在样品上，经样品后产生的散射光为样品光、未发生散射的光为参考光，该两束光在显微物镜的工作面上相遇叠加后形成全息图，显微物镜将该全息图成像到电荷耦合器上进行放大并输入计算机，计算机根据接收到的放大全息图重建样品不同深度的图像。本发明结构简单稳定且无需机械扫描，只需单次采集全息图就能重建出样品的三维图像。

主权项

一种共轴数字全息显微成像装置，其特征在于：该装置基于双光束干涉原理成像，包括沿光路方向依次共光轴设置的He‑Ne激光器(1)、准直透镜(2)、样品(3)、显微物镜(5)和电荷耦合器(6)，其中电荷耦合器(6)的信号输出端接入计算机(7)，其中He‑Ne激光器(1)发出激光后，经过准直透镜(2)得到准直光束，该准直光束直接照射在样品(3)上，经样品(3)后产生的散射光为样品光、未发生散射的光为参考光，样品光和参考光在显微物镜(5)的工作面(4)上相遇叠加后形成全息图，显微物镜(5)将该全息图成像到电荷耦合器(6)上，电荷耦合器(6)对接收到的全息图进行放大后输入计算机(7)，计算机(7)根据接收到的放大全息图重建样品不同深度的图像。