一种太阳能电池及其扩散方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池及其扩散方法，该方法包括：将硅片放入扩散炉中，将扩散炉内温度升温至750℃~800℃，包括端点值，向扩散炉内通源进行磷扩散，向硅片中扩散磷的量基本为，在当前扩散炉内温度下的磷在硅片中的最大固溶度；将扩散炉内温度升温至810℃~820℃，包括端点值，使磷向硅片内部扩散；将扩散炉内温度升温至840℃~850℃，包括端点值，升温过程中通源，以进行变温扩散；保持升温后的温度，通入氧气以进行高温推进，直至磷在硅片中的扩散量达到目标值，对扩散炉内进行降温后，打开扩散炉取出硅片。采用本方法生产的电池片，表面磷杂质浓度低，“死层”厚度小，磷浓度分布梯度大，转换效率提高。

主权项

一种扩散方法，其特征在于，包括以下步骤：A、将硅片放入扩散炉中，将扩散炉内温度升温至750℃～800℃，包括端点值，向扩散炉内通源进行磷扩散，向硅片中扩散磷的量基本为，在当前扩散炉内温度下的磷在硅片中的最大固溶度；B、将扩散炉内温度升温至810℃～820℃，包括端点值，使磷向硅片内部扩散；C、将扩散炉内温度升温至840℃～850℃，包括端点值，升温过程中通源，以进行变温扩散；D、保持步骤C升温后的温度下，通入氧气以进行高温推进，直至磷在硅片中的扩散量达到目标值，对扩散炉内进行降温后，打开扩散炉取出硅片；步骤B和步骤C中的升温速度相同，其升温速度为5℃/min～10℃/min；所述源为氧气和带有三氯氧磷的氮气的混合气体，该混合气体中氧气和带有三氯氧磷的氮气的气体体积比为3:13；步骤A和步骤C中所述源中带有三氯氧磷的氮气的气体流量为800sccm～1200sccm，其中步骤A中进行磷扩散的时间为5～10分钟。