发明名称 定时控制装置
摘要 一种定时控制装置,包括:主回路与计时驱动回路。主回路包括第一电源、第一常开开关、第一常闭开关、第一继电器及第一计时器。第一计时器包括两个输入端与两个输出端。计时器的输出端与第一电源、第一常开开关、第一常闭开关及第一继电器相互串联。计时驱动回路连接于主回路的第一计时器的两个输入端。计时驱动回路包括第二电源、第二常开开关、第二常闭开关以及第二计时器。第二计时器的输出端与第二电源、第二常开开关、第二常闭开关串联。第二计时器的输出端两端并联设置有一个与第二常开开关联动的联动开关。
申请公布号 CN101876811B 申请公布日期 2015.05.20
申请号 CN200910031156.5 申请日期 2009.04.28
申请人 无锡华润上华半导体有限公司 发明人 倪长春;李广中
分类号 G05B11/16(2006.01)I 主分类号 G05B11/16(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种半导体制造过程中控制纯水管道导通与关断的定时控制装置,所述纯水管道上设置有气动阀,所述定时控制装置通过控制气动阀而自动定时控制纯水管道的导通与关断,所述定时控制装置包括:主回路,包括第一电源、第一常开开关、第一常闭开关、第一继电器及第一计时器,所述第一计时器包括两个输入端与两个输出端,所述计时器的输出端与所述第一电源、第一常开开关、第一常闭开关及第一继电器相互串联;计时驱动回路,连接于主回路的第一计时器的两个输入端,所述计时驱动回路包括第二电源、第二常开开关、第二常闭开关以及第二计时器,所述第二计时器的输出端与所述第二电源、第二常开开关、第二常闭开关串联,所述第二计时器的输出端两端并联设置有一个与所述第二常开开关联动的联动开关;其中,所述定时控制装置还包括第二继电器,所述第二继电器包括第二继电器线圈、第二常开触点,所述第二继电器线圈得电以驱动所述第二常开触点闭合,所述第二常开触点与所述第二常开开关并联。
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