METHOD FOR REMOVING FOREIGN SUBSTANCES IN CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

摘要

대물 렌즈에 통상 사용할 때 이상의 자계, 대물 렌즈 주변에 배치한 전극에 통상 사용할 때 이상의 전계를 가함으로써, 시료실 내에 존재하는 이물질을 대물 렌즈와 대물 렌즈 주변에 배치한 전극에 부착 또는 주변으로 끌어당긴다. 광축 중심을 전압 인가가 가능한 전용의 대(stand)의 바로 위에 오도록 스테이지를 이동시키고, 대물 렌즈의 자계를 Off로 하고 나서, 대물 렌즈 주변에 배치한 전극과 스테이지 주변에 배치한 전극간의 전위차를 주기적으로 최대와 최소로 함으로써 전압 인가 가능한 전용의 대에 강제적으로 낙하시킨다.