グロー放電プラズマの陽光柱に基づきマスク及びウエハ検査システムの表面及び部品をクリーニングするためのシステム及び方法

摘要

グロー放電プラズマの陽光柱に基づき、マスク及びウエハ検査システムの表面及び部品をクリーニングするシステム及び方法が開示される。表面は、真空チャンバ内の光学部品の表面又は真空チャンバの内壁であり得る。グロー放電プラズマを発生させるために、カソード及びアノードが使用され得る。カソードに関連する負グローが隔離され得るととともに、光学部品又は真空チャンバの内壁をクリーニングするためにアノードに関連する陽光柱が使用され得る。このように、クリーニングが真空チャンバ内で行われる元の場所のクリーニングプロセスが実行され得る。