| 摘要 |
<p>레이저 가공 장치는, 레이저 광을 생성하기 위한 레이저 발진기와, 피가공물에 분사류 액체를 분사하기 위한 노즐과, 노즐에 분사류 액체를 공급하기 위한 액체 공급 수단을 포함하며, 노즐로부터 분사된 분사류 액체 칼럼 내에 레이저 광이 도입된다. 레이저 가공 장치는 분사류 액체를 층류 상태로 노즐에 공급하기 위한 층류 형성 채널을 또한 포함한다. 층류 형성 채널은, 액체 공급 수단으로부터 공급된 분사류 액체를 노즐의 축선 주위에 환형으로 분배하기 위한 공동에 의해 형성된 분배 채널과, 노즐 축선 방향으로 분배 채널의 하류측에서 분배 채널과 연통하도록 배치되고, 분배 채널보다 좁은 유로를 제공하도록 노즐 축선 주위에 환형 공동에 의해 형성된 연결 채널과, 노즐 축선 방향으로 노즐 상류측에 인접하게 배치되고, 분사류 액체를 저장하여 노즐에 공급하는 액체 저류 체임버를 포함한다. 액체 저류 체임버는 환형의 외주 전체에 걸쳐서 연결 채널과 연통하는 외주 가장자리를 구비한다.</p> |
