２，２，４，４－四矽基戊矽烷及其组成物、方法及用途;2,2,4,4-TETRASILYLPENTASILANE AND ITS COMPOSITIONS, METHODS USES

摘要

一种为2,2,4,4-四矽基五矽烷的化合物、包含2,2,4,4-四矽基五矽烷的化学组成物、制造及纯化2,2,4,4-四矽基五矽烷的方法、由该方法制备的纯化2,2,4,4-四矽基五矽烷、及使用2,2,4,4-四矽基五矽烷作为前驱物形成含矽材料的方法。