一种化学液供给系统

摘要

本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种化学液供给系统，包括由气动泵、过滤器、加热器、冷却器、节流阀及供液桶依次相连形成的主循环管路和连通于加热器与冷却器之间的分支管路，气动泵与过滤器之间的管路上、节流阀与供液桶之间的管路上以及供液桶与气动泵之间的管路上分别设有控制管路通断的药液阀，供液桶内的化学液由气动泵泵入主循环管路内，通过过滤器过滤、加热器加热，被加热后的化学液经冷却器和节流阀流回供液桶中；分支管路与向晶圆喷洒化学液的摆臂喷嘴管路相连通，在该分支管路上依次设有控制摆臂喷嘴管路所需流量的流量计及控制管路通断的药液阀。本发明功能整合，成本低，功能多，结构简单紧凑。

主权项

一种化学液供给系统，其特征在于：包括由气动泵（1）、过滤器（5）、加热器（6）、冷却器（7）、节流阀（8）及供液桶（10）依次相连形成的主循环管路和连通于加热器（6）与冷却器（7）之间的分支管路，所述气动泵（1）与过滤器（5）之间的管路上、节流阀（8）与供液桶（10）之间的管路上以及供液桶（10）与气动泵（1）之间的管路上分别设有控制管路通断的药液阀，所述供液桶（10）内的化学液由气动泵（1）泵入主循环管路内，通过所述过滤器（5）过滤、加热器（6）加热，被加热后的化学液经所述冷却器（7）和节流阀（8）流回所述供液桶（10）中；所述分支管路与向晶圆喷洒化学液的摆臂喷嘴管路相连通，在该分支管路上依次设有控制所述摆臂喷嘴管路所需流量的流量计（12）及控制管路通断的药液阀。