| 发明名称 | 频率可调的MEMS滤波器 | ||
| 摘要 | 一种频率可调的MEMS滤波器，包括：多个谐振单元，该多个谐振单元通过振动位移节点处的支撑梁或者锚点支撑；多个耦合梁，该每一耦合梁的两端连接至相邻的谐振单元；多个电极，该多个电极位于谐振单元的周围，与谐振单元之间有一间隙。本发明能够适用于具有多种频带选择功能的收发系统射频前端，满足未来无线通信系统对多频带、多功能、多模式的应用需求。 | ||
| 申请公布号 | CN104617360A | 申请公布日期 | 2015.05.13 |
| 申请号 | CN201310541341.5 | 申请日期 | 2013.11.05 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 骆伟;袁泉;赵晖;杨晋玲;杨富华 |
| 分类号 | H01P1/20(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I | 主分类号 | H01P1/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 宋焰琴 |
| 主权项 | 一种频率可调的MEMS滤波器，包括：多个谐振单元，该多个谐振单元通过振动位移节点处的支撑梁或者锚点支撑；多个耦合梁，该每一耦合梁的两端连接至相邻的谐振单元；多个电极，该多个电极位于谐振单元的周围，与谐振单元之间有一间隙。 | ||
| 地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 | ||