一种带有连续台阶部的防变形旋涂用托盘

摘要

本实用新型涉及一种托盘，具体涉及一种带有连续台阶部的防变形旋涂用托盘，其主要包括圆盘本体，该圆盘本体中心向下开设一凹槽，该凹槽由首尾相接的四个侧边通过底部围合而成，每个侧边上向凹槽中心延伸有一个凸条，相邻侧边上的凸条相连，所述底部开设定位孔。本实用新型通过设置首尾相连的凸条，使基片与凹槽之间产生空腔，从而减少基片与托盘接触，避免基片因底面不平整而产生变形，同时有助于散热。

主权项

一种带有连续台阶部的防变形旋涂用托盘，其特征在于：包括圆盘本体，该圆盘本体中心向下开设一凹槽，该凹槽由首尾相接的四个侧边通过底部围合而成，每个侧边上向凹槽中心延伸有一个凸条，相邻侧边上的凸条相连。