发明名称 可弃式接合间隙控制结构
摘要
申请公布号 TWI484599 申请公布日期 2015.05.11
申请号 TW100138073 申请日期 2011.10.20
申请人 雷神公司 发明人 迪柏 布;葛奇 罗兰德W
分类号 H01L23/12;H01L21/50 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 一种使第一和第二基板结合之方法,其包含下列步骤:自一第一基板向外地喷制一接合间隙控制结构(BGCS),该BGCS构形来控制一结合材料之一接合线的一几何形状;自该第一基板向外地配置该结合材料;利用该结合材料将该第一基板接合至一第二基板以产生一接合结构;以及自该接合结构锯切该BGCS,以自该接合结构完全移除该BGCS。
地址 美国