发明名称 |
感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品 |
摘要 |
本発明は、(A)フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂と、(B)光により酸を生成する化合物と、(C)(A)成分と架橋する基を有するアクリル樹脂と、を含有する感光性樹脂組成物、並びにこれを用いたパターン硬化膜の製造方法及び電子部品を提供する。 |
申请公布号 |
JPWO2013118680(A1) |
申请公布日期 |
2015.05.11 |
申请号 |
JP20130557505 |
申请日期 |
2013.02.04 |
申请人 |
日立化成株式会社 |
发明人 |
田原 真吾;加藤木 茂樹;松谷 寛;阿部 浩一;谷本 明敏;青木 優 |
分类号 |
G03F7/023;G03F7/004;G03F7/40;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/023 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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