发明名称 感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品
摘要 本発明は、(A)フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂と、(B)光により酸を生成する化合物と、(C)(A)成分と架橋する基を有するアクリル樹脂と、を含有する感光性樹脂組成物、並びにこれを用いたパターン硬化膜の製造方法及び電子部品を提供する。
申请公布号 JPWO2013118680(A1) 申请公布日期 2015.05.11
申请号 JP20130557505 申请日期 2013.02.04
申请人 日立化成株式会社 发明人 田原 真吾;加藤木 茂樹;松谷 寛;阿部 浩一;谷本 明敏;青木 優
分类号 G03F7/023;G03F7/004;G03F7/40;H01L21/027 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
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