发明名称 分光器及び顕微分光システム
摘要 角度依存素子である分光素子に対する蛍光の入射角度を変化させてこの分光素子の波長特性を変化させることにより、分光して検出する光の波長領域を変化させることができる分光器及び顕微分光システムを提供する。顕微分光システム1に用いられる分光器40は、信号光を略平行光とするコリメート光学系41と、信号光の入射角度により分光する波長帯域が変化する分光素子42a,43aを少なくとも1枚含む分光光学系42,43と、分光光学系42,43で分光された信号光を検出する少なくとも1つの受光器44〜46と、分光素子42a,43aに対する信号光の入射角度を変化させる機構(駆動ユニット54a〜54d)と、信号光を分光する波長帯域に応じて、分光素子42a,43aに対する信号光の入射角度を決定し、当該入射角度になるように機構を制御する制御部50と、を有する。
申请公布号 JPWO2013118666(A1) 申请公布日期 2015.05.11
申请号 JP20130557499 申请日期 2013.02.04
申请人 株式会社ニコン 发明人 左高 良一;大澤 日佐雄
分类号 G01J3/28;G01J3/06;G01J3/443;G01N21/27;G01N21/64 主分类号 G01J3/28
代理机构 代理人
主权项
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