| 摘要 |
1. Биполярный источник питания для магнетронного распыления, содержащий источник постоянного тока, расположенного на входе биполярного источника питания и блок формирования импульсов обратного (положительного) напряжения, расположенного на выходе биполярного источника питания, отрицательный и положительный выводы которого соединяются с нагрузкой, систему управления, соединенную со всеми блоками биполярного источника питания, отличающийся тем, что дополнительно включает в себя схему формирования отрицательных импульсов напряжения, входные выводы которой подключены к источнику постоянного тока, отрицательный выход подключен к блоку формирования импульсов обратного (положительного) напряжения, включающую в себя дроссель для ограничения скорости роста выходного тока, и схему рекуперации отрицательного тока, подключенную к положительному выходу схемы формирования отрицательных импульсов напряжения и положительному входу блока формирования импульсов обратного (положительного) напряжения.2. Биполярный источник питания для магнетронного распыления по п. 1, отличающийся тем, что блок формирования импульсов обратного напряжения, схема формирования отрицательных импульсов напряжения и схема рекуперации отрицательного тока имеют транзисторы, между включениями которых следует фиксированная задержка длительностью, достаточной для прерывания тока в дросселе, расположенного в схеме формирования отрицательных импульсов напряжения.3. Биполярный источник питания для магнетронного распыления по п. 2, отличающийся тем, что в качестве транзисторов в блоке формирования импульсов обратного напряжения, схеме |
