真空台遮罩、真空固定装置及工件真空固定到其上的方法

摘要

本发明揭露一种用于各种形状及/或尺寸的工件的真空台遮罩、真空固定装置及工件真空固定到其上的方法，其中，真空固定台界定遮罩支撑平面。有孔的真空台遮罩可选择性地定位在所述遮罩支撑平面上，所述真空固定台及所述真空台遮罩被构造成通过在所述遮罩支撑平面中对所述真空台遮罩与所述真空固定台进行适当的相对定位来界定多个可选择的不同的相邻真空孔阵列。

主权项

一种用于各种形状及/或尺寸的工件的真空固定系统，其特征在于，所述系统包括：真空固定台，界定遮罩支撑平面；以及有孔的真空台遮罩，其可选择性地定位在所述遮罩支撑平面上，所述真空固定台及所述真空台遮罩被构造成通过在所述遮罩支撑平面中对所述真空台遮罩与所述真空固定台进行适当的相对定位来界定多个可选择的不同的相邻真空孔阵列。