发明名称 陶瓷材料、烧结体及制备方法、压电陶瓷器件、压电双晶片及改善其温度稳定性的胶合方法
摘要 本发明提供了一种压电陶瓷材料,所述压电陶瓷材料含有用化学通式:Pb(Mn<sub>1/3</sub>Sb<sub>2/3</sub>)<sub>x</sub>Zr<sub>y</sub>Ti<sub>z</sub>O<sub>3</sub>+awt%WO<sub>3</sub>表示且满足如下关系的主要组分:0.02≤x≤0.1,0.4≤y≤0.6,0.4≤z≤0.6,0.5≤a≤3。本发明生产的产品温度稳定性高、生产工艺简单、周期短,便于批量化生产。
申请公布号 CN103641476B 申请公布日期 2015.05.06
申请号 CN201310572270.5 申请日期 2013.11.15
申请人 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声精密制造科技(常州)有限公司 发明人 苏绍华
分类号 C04B35/493(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I;H01L41/25(2013.01)I 主分类号 C04B35/493(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种压电陶瓷烧结体的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:配料:按Pb(Mn<sub>1/3</sub>Sb<sub>2/3</sub>)<sub>x</sub>Zr<sub>y</sub>Ti<sub>z</sub>O<sub>3</sub>+awt%WO<sub>3</sub>化学式配比提供压电陶瓷材料的各组分并将所述组分制成粉末,其中0.02≤x≤0.1,0.4≤y≤0.6,0.4≤z≤0.6,0.5≤a≤3,所述组分包括Pb<sub>3</sub>O<sub>4</sub>、MnCO<sub>3</sub>、Sb<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、ZrO<sub>2</sub>、TiO<sub>2</sub>、WO<sub>3</sub>;混料:将上述配置好的粉末加1:1质量的蒸馏水混合8小时后烘干;煅烧:将上述烘干后的产物在800‑900℃的环境中煅烧3h以合成得到煅烧产物;粉碎:粉碎上述煅烧产物并烘干以形成混合物;制浆:向上述混合物中加入粘结剂、增塑剂、分散剂、溶剂并混合以形成陶瓷浆料;成型:将上述陶瓷浆料除泡后流延形成陶瓷薄膜;叠置:将上述陶瓷薄膜层叠设置并等静压形成层压产物;烧结:在1100‑1200℃的环境中保温3h烧制所述层压产物形成压电陶瓷烧结体。
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