感应耦合等离子体反应器中的高效气体离解的方法和设备

摘要

本发明的实施例涉及用于以改良的等离子体离解效率将处理气体提供至处理腔室的方法和设备。本发明的一个实施例提供挡板喷嘴组件，该挡板喷嘴组件包括外部主体，外部主体限定连接至处理腔室的延伸容积。处理气体经过延伸容积流至处理腔室，延伸容积暴露至用于等离子体产生的功率源。

主权项

一种挡板喷嘴组件，其包括：外部主体，其限定内部容积，其中，所述外部主体具有第一入口通道，所述第一入口通道开到所述内部容积并适于与气体源连接，并且所述外部主体具有出口；入口挡板，其设置在所述内部容积中并将所述内部容积划分为第一容积和第二容积，其中，所述第一入口通道在接近所述第一容积的第一端处开出，一个或多个开口位于接近所述第一容积的第二端处，并且所述一个或多个开口连接所述第一容积和所述第二容积；以及出口挡板，其设置在所述外部主体的所述出口的上方，其中，所述出口挡板具有一个或多个第一穿孔，所述一个或多个第一穿孔开到所述内部容积的所述第二容积，并且所述出口挡板重新引导来自所述第一穿孔的气流。