一种测量高反射镜面形的平面标准镜

摘要

本实用新型公开了一种测量高反射镜面形的平面标准镜，包括标准镜面，所述标准镜面上镀制有分光膜；所述分光膜能够确保标准镜面的外反射率趋于零。由此可知：本实用新型干涉显示出来的影像清晰，避免了增加滤网测量的网格干扰。另外，本实用新型可以用在平面和球面及其它各类标准镜的表面，镀过膜后的标准镜能测量银高反膜，铝高反膜及介质高反膜的反射镜，并测量硅片，锗片，硒化锌，硫化锌，金属片及角锥的面形，广泛地应用于光学加工及测量领域。

主权项

一种测量高反射镜面形的平面标准镜，包括标准镜面，其特征在于，所述标准镜面上镀制有分光膜,该分光膜的厚度为20～80nm；所述分光膜能够确保标准镜面的外反射率趋于零。