吸附状态检查装置、表面安装机和元件试验装置

摘要

本发明提供一种吸附状态检查装置、表面安装机和元件试验装置，所述吸附状态检查装置包括：漫射部件，设置于设有多个用于吸附元件的吸嘴的吸嘴组的内侧，使入射的光一边漫射一边透过；摄像部，设置于吸嘴组的侧旁且从漫射部件向第一方向离开的位置，通过以漫射部件为背景拍摄吸附于构成吸嘴组的多个吸嘴中的相对于漫射部件位于第一方向的一个吸嘴的元件，获得所述元件的像；照明部，隔着漫射部件与摄像部相向地设置，对吸嘴组照射光；以及检查部，基于由摄像部拍摄的所述元件的像，检查所述一个吸嘴对该元件的吸附状态。从而在设有多个吸嘴的情况下，也能够以高的对比度拍摄吸附于吸嘴的元件和其背景，且良好地检查该吸嘴对元件的吸附状态。

主权项

一种吸附状态检查装置，其特征在于包括：漫射部件，设置于设有多个用于吸附元件的吸嘴的吸嘴组的内侧，使入射的光一边漫射一边透过；摄像部，设置于所述吸嘴组的侧旁且从所述漫射部件向第一方向离开的位置，通过以所述漫射部件为背景拍摄吸附于构成所述吸嘴组的多个吸嘴中的、相对于所述漫射部件位于所述第一方向的一个吸嘴的元件，获得所述元件的像；照明部，设置于所述吸嘴组的侧旁，且隔着假想铅垂面，设置在与所述摄像部相反的区域，对所述吸嘴组照射光，其中，所述假想铅垂面在从所述摄像部向与所述第一方向相反的第二方向延伸的假想水平线、和所述漫射部件交叉的位置上，通过与所述该假想水平线正交的另一假想水平线；以及检查部，基于由所述摄像部拍摄的所述元件的像，检查所述一个吸嘴对所述元件的吸附状态，所述吸嘴组包括设置在沿所述第二方向延伸的假想线上且隔着所述漫射部件位于所述一个吸嘴的相反侧的另一个吸嘴。