利用自动对准低温浅接面制造具有极低临界电压金属闸极／高介电常数材质之互补金氧半场效电晶体之方法

主权项

一种利用自动对准低温浅接面制造具有极低临界电压金属闸极/高介电常数材质之互补金氧半场效电晶体之方法，其特征在于该方法系利用一低温浅接面法在互补金氧半场效电晶体之制程中减少其界面反应，其处理温度系低于900oC，之后，当该方法系用于制造商用矽太阳能电池板时，进一步实施湿式磷酸喷涂及掺杂作业。