发明名称 一种沉积玻璃窗膜耐磨层的方法及玻璃窗膜
摘要 本发明提供一种沉积玻璃窗膜耐磨层的方法及玻璃窗膜,所述沉积玻璃窗膜耐磨层的方法包括:将一衬底及一陶瓷靶材放置于一真空腔室中,并向所述真空腔室中通入氩气;氩气与电场产生的电子发生碰撞后生成的氩离子在所述电场作用下轰击所述陶瓷靶材表面,使所述陶瓷靶材发生溅射,在所述衬底上沉积薄膜,作为玻璃窗膜耐磨层。本发明通过磁控溅射工艺进行耐磨层的沉积,可以实现窗膜耐磨层的结构致密化、厚度均匀化和硬度加强化,并且该耐磨层无需高温烘烤和紫外线固化,简化了窗膜耐磨层的生产工艺,节省了材料,另外,使得玻璃窗膜能以较薄的结构厚度达到较高的硬度及透光率,从而实现窗膜表面防磨耐刮的性能要求。
申请公布号 CN104561898A 申请公布日期 2015.04.29
申请号 CN201510040706.5 申请日期 2015.01.27
申请人 大连爱瑞德纳米科技有限公司 发明人 窦威;陈土培
分类号 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;B32B27/06(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I 主分类号 C23C14/06(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 王涛
主权项 一种沉积玻璃窗膜耐磨层的方法,其特征在于,所述沉积玻璃窗膜耐磨层的方法包括:将一衬底及一陶瓷靶材放置于一真空腔室中,并向所述真空腔室中通入氩气;氩气与电场产生的电子发生碰撞后生成的氩离子在所述电场作用下轰击所述陶瓷靶材表面,使所述陶瓷靶材发生溅射,在所述衬底上沉积薄膜,作为玻璃窗膜耐磨层。
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