发明名称 |
晶粒分选装置 |
摘要 |
本发明公开了一种晶粒分选装置,包括依次相连并相同水平面设置的晶粒输入带和晶粒检测承台,晶粒输入带将待分选晶粒逐颗送入晶粒检测承台;晶粒检测承台的台面正上方设置有用于将晶粒检测承台的待分选晶粒进行分选检测的检测装置;晶粒检测承台的台面四周至少分布有两个分选收集单元;分选收集单元包括收集吸嘴和分选收集盒;收集吸嘴正对着晶粒检测承台台面上的待分选晶粒、用于将分选检测后的晶粒吸取并落入分选收集盒中。省略了检测后繁杂的传送收集机构,根据分选需求通过启动不同收集吸嘴将晶粒吸取收集,分选直接高效、没有多余传送动作,大幅提升分选效率,动作衔接顺畅,结构简单、拆装方便、成本较低、可实现有效分选、高精度分选。 |
申请公布号 |
CN104550054A |
申请公布日期 |
2015.04.29 |
申请号 |
CN201410835408.0 |
申请日期 |
2014.12.29 |
申请人 |
苏州凯锝微电子有限公司 |
发明人 |
刘思佳 |
分类号 |
B07C5/36(2006.01)I;B07C5/02(2006.01)I |
主分类号 |
B07C5/36(2006.01)I |
代理机构 |
南京纵横知识产权代理有限公司 32224 |
代理人 |
董建林 |
主权项 |
一种晶粒分选装置,其特征在于:包括依次相连并相同水平面设置的晶粒输入带和晶粒检测承台,所述晶粒输入带将待分选晶粒逐颗送入晶粒检测承台;所述晶粒检测承台的台面正上方设置有检测装置,所述检测装置用于将晶粒检测承台的待分选晶粒进行分选检测;所述晶粒检测承台的台面四周以台面中点为中心、并与台面相同水平面至少分布有两个分选收集单元,所述分选收集单元仅围绕晶粒检测承台中不与晶粒输入带相连的台面四周;所述分选收集单元包括收集吸嘴和分选收集盒;所述分选收集盒与晶粒检测承台的台面周沿相连、且顶面敞口、并保持顶面与台面齐平;所述收集吸嘴正对着晶粒检测承台台面上的待分选晶粒、用于将分选检测后的晶粒吸取并落入分选收集盒中。 |
地址 |
215000 江苏省苏州市高新区珠江路525号 |