贴合位置检查装置

摘要

本实用新型提供一种贴合位置检查装置，检查以四边分别与矩形的基板的四边平行的方式贴合的矩形的贴合物在该基板上的贴合位置，包括：检查台，其形成有载置贴合有贴合物的基板的载置区域；四个光学测定单元，其安装在检查台上，分别面对基板及贴合物的四角，在该四角处分别光学测定贴合物的边缘和与贴合物的该边缘平行的基板的边缘之间的距离；测定结果显示单元，其与四个光学测定单元连接，将四个光学测定单元各自测定出的距离作为测定结果显示出来。由此，能够利用四个光学测定单元在四角处分别光学测定贴合物的边缘和与该贴合物的边缘平行的基板的边缘之间的距离，因此能够提高贴合物在基板上的贴合位置的检查精度。

主权项

一种贴合位置检查装置，检查以四边分别与矩形的基板的四边平行的方式贴合的矩形的贴合物在该基板上的贴合位置，其特征在于，包括：检查台，其形成有载置贴合有所述贴合物的所述基板的载置区域；四个光学测定单元，其安装在所述检查台上，分别面对所述基板及贴合物的四角，在该四角处分别光学测定所述贴合物的边缘和与所述贴合物的该边缘平行的所述基板的边缘之间的距离；测定结果显示单元，其与四个所述光学测定单元连接，将四个所述光学测定单元各自测定出的所述距离作为测定结果显示出来。