发明名称 |
一种阵列基板及其制作方法及显示器 |
摘要 |
本发明公开了一种阵列基板及其制作方法及显示器,该阵列基板包括:基板;设置在基板上显示区内的栅极以及设置在基板上绑定区内的第一走线;覆盖在栅极以及所述第一走线上的栅极绝缘层;栅极绝缘层内设置有第一开孔,第一开孔暴露至少部分第一走线;位于栅极绝缘层上显示区内的源极,及位于栅极绝缘层上绑定区内的第二走线,第二走线通过第一开孔与第一走线电连接;覆盖至少部分源极及至少部分第二走线的氧化物半导体层,氧化物半导体层与第二走线电连接;覆盖氧化物半导体层的钝化层,钝化层具有第二开孔,其中,第二开孔暴露至少部分位于第二走线上方的氧化物半导体层。本发明简化了制作工艺,并降低了制作成本。 |
申请公布号 |
CN104576658A |
申请公布日期 |
2015.04.29 |
申请号 |
CN201410857190.9 |
申请日期 |
2014.12.30 |
申请人 |
上海天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
发明人 |
楼均辉 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L23/49(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
王宝筠 |
主权项 |
一种阵列基板,包括显示区以及设置在显示区外围的绑定区,其特征在于,包括:基板;设置在所述基板上所述显示区内的栅极以及设置在所述基板上所述绑定区内的第一走线;覆盖在所述栅极以及所述第一走线上的栅极绝缘层;所述栅极绝缘层内设置有第一开孔,所述第一开孔暴露至少部分所述第一走线;位于所述栅极绝缘层上所述显示区内的源极,及位于所述栅极绝缘层上所述绑定区内的第二走线,所述第二走线通过所述第一开孔与所述第一走线电连接;覆盖至少部分所述源极及至少部分所述第二走线的氧化物半导体层,所述氧化物半导体层与所述第二走线电连接;覆盖所述氧化物半导体层的钝化层,所述钝化层具有第二开孔,其中,所述第二开孔暴露至少部分位于所述第二走线上方的氧化物半导体层。 |
地址 |
201201 上海市浦东新区汇庆路888、889号 |