机电系统装置

摘要

本发明提供用于包含一或多个存储电容器的机电系统装置的系统、方法和设备。在一个方面中，装置包含衬底结构、经配置以相对于所述衬底结构移动的可移动元件，及至少一个开关。所述可移动元件包含形成存储电容器的第一导电层及第二导电层。所述开关经配置以控制源极与所述存储电容器之间的电荷流。

主权项

一种装置，其包括：衬底结构，其具有固定电极；可移动元件，其经配置以在大体上垂直于所述衬底的方向上移动，所述可移动元件包含第一导电层及第二导电层，所述第一和第二导电层形成存储电容器；及至少一个开关，其经配置以控制源极与所述存储电容器之间的电荷流。