发明名称 PROCEDE DE PREHENSION D'UN SUBSTRAT
摘要 <p>L'invention concerne un procédé de préhension d'un substrat (6) à l'aide d'une structure (1), dite poignée ou temporaire, qui comprend au moins un conduit formant un réseau (3) débouchant, d'un coté, sur une première face (2) de la structure (1), et de l'autre, débouchant sur au moins une ouverture (5) située sur une autre face (4) de la structure (1), le procédé se caractérisant par les étapes suivantes: - mettre en contact la première face (2) de la structure (1) avec une surface du substrat (6), de sorte que le réseau (3) débouchant sur la première face (2) de la structure (1) soit obturé hermétiquement par la surface du substrat (6) ; - soumettre le réseau (3) à une dépression, maintenue par un élément obturateur (7) disposé sur l'ouverture (5), de manière à ce que le réseau (3) puisse exercer un effort de succion suffisant pour au moins soulever le poids du substrat (6) à l'aide de la structure (1).</p>
申请公布号 FR3012257(A1) 申请公布日期 2015.04.24
申请号 FR20130002451 申请日期 2013.10.21
申请人 SOITEC 发明人 BROEKAART MARCEL;RADU IONUT;LAGAHE BLANCHARD CHRISTELLE
分类号 H01L21/683;H01L21/02;H01L21/98 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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