一种消除晶圆片翘曲的托盘

摘要

本发明公开了一种消除晶圆片翘曲的托盘，包括基体和基座，基体一侧面上形成有多个凹坑，一个凹坑配置有一个基座；基座镶嵌在相应凹坑内，并与凹坑坑底之间保持有间隙，其整体高度低于凹坑深度；基座的上表面开设有多个吸气孔，晶圆片吸附在基座上后，其与基座组合的整体高度低于凹坑深度，基座内形成有连通多个吸气孔的抽真空通道，抽真空通道贯穿基座的下表面；凹坑的坑底上开设有抽气孔，基体内形成有连通抽气孔的抽真空通道，抽真空通道贯穿基体的另一侧面，能与外界抽真空装置相连。本发明能使晶圆片平贴紧在基座上，可以有效消除热失配与晶格失配导致的外延片翘曲问题，且片内温度均匀，有利于后续工艺流程。

主权项

一种消除晶圆片翘曲的托盘，其特征在于：包括有基体(1)和用于安装晶圆片的基座(2)，其中，所述基体(1)的一侧面上形成有多个凹坑(3)，凹坑(3)的数量与基座(2)相一致，且一个凹坑(3)配置有一个基座(2)，基座(2)的形状大小与凹坑(3)相匹配；所述基座(2)镶嵌在相应凹坑(3)内，并与凹坑坑底之间保持有间隙，其整体高度低于凹坑深度；所述基座(2)的上表面开设有多个吸气孔(4)，用于吸附晶圆片，使其平贴紧在基座(2)的上表面，所述晶圆片吸附在基座(2)上后，其与基座(2)组合的整体高度低于凹坑深度，所述基座(2)内形成有连通上述多个吸气孔(4)的抽真空通道，所述抽真空通道贯穿基座(2)的下表面；所述凹坑(3)的坑底上开设有抽气孔(5)，所述基体(1)内形成有连通抽气孔(5)的抽真空通道，所述抽真空通道贯穿基体(1)的另一侧面，能与外界抽真空装置相连。