一种激光边缘刻蚀机传输与装卸片系统

摘要

本发明涉及一种激光边缘刻蚀机传输与装卸片系统，该系统包括框架，装在框架底板上的叠片片盒移动及升降部件和传送平台部件，装在框架上部的硅片吸盘机械手；位于传送平台部件一侧的所述叠片片盒移动及升降部件上装有内置硅片的叠片片盒，所述硅片吸盘机械手位于传送平台部件的正上方；所述硅片吸盘机械手上具有硅片吸盘。使用本发明既可以通过吸盘机械手使激光边缘刻蚀机独立运行，又可以通过多段皮带传送平台实现激光边缘刻蚀机和上下游设备的自动衔接，提高了太阳能电池生产线自动化程度和生产效率。

主权项

一种激光边缘刻蚀机传输与装卸片系统，其特征是，包括框架(1)，装在框架(1)底板上的叠片片盒移动及升降部件（8）和一个传送平台部件（10），装在框架(1)上部的硅片吸盘机械手(3)；位于传送平台部件（10）一侧的所述叠片片盒移动及升降部件（8）上装有内置硅片的叠片片盒（7），所述硅片吸盘机械手(3)位于传送平台部件（10）的正上方；所述硅片吸盘机械手(3)上具有硅片吸盘（6）；所述硅片吸盘机械手(3) 上装有可以水平移动硅片吸盘（6）的平移线性滑台（4），装在平移线性滑台（4）上的升降气缸（5）；所述硅片吸盘（6）装在升降气缸（5）的一端；所述框架（1）的底板装有缓存片盒移动部件（2），位于传送平台部件（10）另一侧的该缓存片盒移动部件（2）上装有缓存片盒。