治具及清洗机

摘要

本发明提供一种治具及清洗机，其中，治具包括：固定装置和底座；所述固定装置用于固定基板；所述底座为凹槽状，所述底座的侧壁上设置支撑部，所述支撑部用于支撑所述固定装置，从而使由所述固定装置固定的基板处于所述清洗机的正电极与负电极之间。本发明提供的治具，其固定装置通过固定基板的边缘来固定基板，然后将固定装置安置到底座支撑部上，从而使固定在固定装置中的基板两个表面上的待清洗区域都能充分暴露在等离子环境中，以有利于对基板的两个表面同时进行刻蚀或清洗等的工艺制程，提高了基板进行工艺制程的效率。

主权项

一种用于等离子清洗机的治具，其特征在于包括：固定装置和底座；所述固定装置用于固定基板；所述底座为凹槽状，所述底座的侧壁上设置支撑部，所述支撑部用于支撑所述固定装置，从而使由所述固定装置固定的基板处于所述清洗机的正电极与负电极之间；所述底座的侧壁能够阻止固定装置向两侧滑动，使安置在支撑部上的固定装置保持稳定固定；所述固定装置包括两个夹持框，用于将所述基板夹持在所述夹持框之间；所述两个夹持框分别为上夹持框和下夹持框，上夹持框和下夹持框的尺寸略大于基板的边缘的尺寸，上夹持框和下夹持框的内边缘位于基板的边缘上，以使得基板的两个表面上的待清洗区域露出，上夹持框和下夹持框的内表面与基板的边缘充分接触，以增加两个夹持框与基板的接触面积；上夹持框和下夹持框的形状与尺寸大致相同，且上夹持框和下夹持框的中心互相对准，并与基板的中心对准，以使二者在夹持基板的边缘时确保基板的边缘区域受力平衡；所述固定装置的外表面为弧形表面，以避免上夹持框和下夹持框产生不利于清洗基板的边缘效应。