发明名称 |
晶圆刻蚀装置 |
摘要 |
本实用新型提供了一种晶圆刻蚀装置,包括:载体,所述载体具有多个可承载晶圆的卡槽,所述晶圆可在所述卡槽内转动;位于所述载体以及所述晶圆底部的传动装置,所述传动装置带动所述晶圆匀速转动,使所述晶圆与所述载体内的刻蚀溶液均匀反应。由于传动装置能够带动晶圆匀速转动,因此,就相当于将晶圆放置在流动的刻蚀溶液中,这样与晶圆反应后的废弃溶液就能够及时流动更新,从而提高了生产效率,缩短了生产周期;并且,由于晶圆与刻蚀溶液相对匀速运动,因此,晶圆各个区域的反应速度趋于一致,从而达到保证晶圆沟槽刻蚀均匀性的目的。 |
申请公布号 |
CN204289403U |
申请公布日期 |
2015.04.22 |
申请号 |
CN201420556400.6 |
申请日期 |
2014.09.25 |
申请人 |
安徽安芯电子科技有限公司 |
发明人 |
汪良恩;汪曦凌 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
王宝筠 |
主权项 |
一种晶圆刻蚀装置,其特征在于,包括:载体,所述载体具有多个可承载晶圆的卡槽,所述晶圆可在所述卡槽内转动;位于所述载体以及所述晶圆底部的传动装置,所述传动装置带动所述晶圆匀速转动,使所述晶圆与所述载体内的刻蚀溶液均匀反应。 |
地址 |
247000 安徽省池州市经济技术开发区金光大道88号富安电子信息产业园10号 |