发明名称 阳极支持具及电镀装置
摘要
申请公布号 TWI481749 申请公布日期 2015.04.21
申请号 TW102128603 申请日期 2008.02.26
申请人 荏原制作所股份有限公司 发明人 矢作光敏;阿部贤一;荒木裕二;南吉夫;长弓知泰
分类号 C25D17/12;C25D17/08;C25D7/12 主分类号 C25D17/12
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项 一种阳极支持具,包括:阳极支持具基座,用以容置阳极;以及阳极遮蔽物,放置于该阳极支持具基座之前部表面,覆盖该阳极的一部份;该阳极遮蔽物具有圆形开孔,且该圆形开孔之内径系小于该阳极之外径,该阳极遮蔽物为板状,且以该阳极遮蔽物按压该阳极之表面。
地址 日本