| 摘要 |
本发明之课题在于对于来自处理容器内之高频电极或其他电气构件而进入供电线路、讯号线等线路上之有害复数频率之高频杂讯，能有效率地且稳定确实地给予充分高的阻抗，而可提高电浆程序之再现性、可靠性。;过滤器单元54(IN)在接地状态之圆筒状导体所构成之架框82中，从上而下依序配置有空芯螺线线圈AL1、BL1、第1电容器AC1、BC1、环形线圈AL2、BL2以及第2电容器AC2、BC2。于两空芯螺线线圈AL1、BL1之周围，与此等空芯螺线线圈之外周面邻接并和线圈轴向呈平行延伸之棒状栉齿构件86系于周旋方向上隔着一定间隔设置复数个。于个别栉齿构件86之内侧面形成有陷入两螺线线圈AL1、BL1之缠线间的栉齿M。 |
