摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verbindung enthaltend wenigstens ein Selenatom, an das wenigstens eine -(NC(NR2)2)-Gruppe gebunden ist, worin R ausgewählt ist aus der Gruppe umfassend Wasserstoff, Alkyl, Acyl und/oder Cyano. Die Verbindung ist insbesondere geeignet als Vorläuferverbindung zur thermischen oder chemischen Freisetzung von Selen. Die vorliegende Erfindung betrifft ferner eine Beschichtungslösung enthaltend eine solche Verbindung sowie ein Verfahren zur Beschichtung eines Substrats mit einem Selenid.</p> |