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发明名称
反射电极用或配线电极用Ag合金膜,反射电极或配线电极,及Ag合金溅镀靶材
摘要
一种用于反射电极或配线电极之Ag合金膜,系展现出低电阻率及高反射率,且对于UV照射或O2电浆处理等洗净处理之耐氧化性优良,其含有下述至少其中一者:In超过2.0原子%且2.7原子%以下,Zn超过2.0原子%且3.5原子%以下。上述Ag合金膜亦可更含有0.01~1.0原子%之Bi。
申请公布号
TW201514325
申请公布日期
2015.04.16
申请号
TW103121716
申请日期
2014.06.24
申请人
神户制钢所股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
发明人
志田阳子 SHIDA, YOKO;后藤裕史 GOTO, HIROSHI;越智元隆 OCHI, MOTOTAKA
分类号
C22C5/06(2006.01);H01B5/14(2006.01);C23C14/14(2006.01);C23C14/34(2006.01);G02F1/1343(2006.01);G09F9/00(2006.01);H05B33/26(2006.01)
主分类号
C22C5/06(2006.01)
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
日本 JP
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