液体材料的填充方法及装置

摘要

本发明提供一种不需要计算复杂的参数且容易控制的液体材料的填充方法、装置及程序。本发明涉及一种液体材料的填充方法、用以实施该方法的装置及程序，其特征在于，该液体材料的填充方法，为在衬底与其上载置的工件的间隙利用毛细管现象填充从吐出部吐出的液体材料的方法；沿工件的外周做成由暂时停止点及非停止区域所构成的涂布图案，通过增减在暂时停止点吐出部的停止时间来进行液体材料的吐出量的校正。

主权项

一种液体材料的填充方法，是对于衬底与其上所载置的工件的间隙利用毛细管现象填充从吐出部吐出的液体材料的方法，其特征在于，沿工件的外周做成由暂时停止点及非停止区域所构成的涂布图案，在设定包含涂布图案与适当重量W₂的关系及/或与适当吐出时间的关系的初期参数、考虑时间经过或温度变化而产生的液体材料黏度变化而设定包含使用者输入的时间信息或者工件的片数的校正周期、以设定的校正周期算出对应于因液体材料黏度变化所引起的吐出量变化的校正量、当判断有必要进行液体材料的吐出量的校正的情况下校正涂布图案的液体材料的填充方法中，当判断有必要进行液体材料的吐出量的校正的情况下，通过增减吐出部在暂时停止点的停止时间，将非停止区域中的吐出部的移动速度V保持为一定而校正涂布图案，以及测量在校正前的吐出时间T₁内所吐出的液体材料的重量W₁，算出用以吐出适当重量W₂的时间T₂，根据时间T₂与时间T₁的差来增减吐出部在暂时停止点的停止时间，或者，测量吐出的液体材料达到适当重量W₂为止的时间T₂，根据时间T₂与校正前的吐出时间T₁的差来增减吐出部在暂时停止点的停止时间。