嵌入传送栅

摘要

本发明涉及嵌入传送栅。本文所公开的图像传感器像素包括：半导体层、用于累积光生电荷的感光区、浮动节点、沟槽及嵌入传送栅。该感光区及该沟槽安置于该半导体层内。该沟槽延伸至该半导体层中、介于该感光区与该浮动节点之间，且该嵌入传送栅安置于该沟槽内以控制该光生电荷自该感光区至该浮动节点的传送。

主权项

一种图像传感器像素，其包含：半导体层；感光区，其安置于所述半导体层内以累积光生电荷；浮动节点，其安置于所述半导体层内；沟槽，其延伸至所述半导体层中、介于所述感光区与所述浮动节点之间；嵌入传送栅，其安置于所述沟槽内以控制所述光生电荷自所述感光区至所述浮动节点的传送，其中所述嵌入传送栅包含：底部部分，其安置于所述沟槽内，延伸至所述半导体层中；以及顶部部分，其安置于在所述底部部分之上，延伸超出所述半导体层的顶面，其中所述底部部分，从上方看基本上是梯形的，其中梯形的长边面向所述感光区而梯形的短边面向所述浮动节点。