| 摘要 |
<p>본 발명에 관한 스퍼터링 타깃은 스퍼터링 타깃의 F, S, Se을 제외한 금속 성분으로서, Ga:10∼40at％, Na:1.0∼15at％를 함유하고, 잔량부가 Cu 및 불가피 불순물을 포함하는 성분 조성을 갖고, Na이 불화나트륨, 황화나트륨 및 셀레늄화나트륨 중 적어도 1종을 포함하는 Na 화합물의 상태로 함유되고, 이론 밀도비가 90％ 이상, 항절 강도가 100N/㎟ 이상, 벌크 비저항이 1mΩㆍ㎝ 이하이고, 타깃 표면의 1㎠ 면적 내에, 0.05㎟ 이상의 불화나트륨, 황화나트륨 및 셀레늄화나트륨 중 적어도 1종의 응집체가 평균 1개 이하이다.</p> |
