| 发明名称 |
放射源及びリソグラフィ装置 |
| 摘要 |
【課題】 本発明は、燃料含有の毛細管と、圧電アクチュエータ（５００）とを備える放射源燃料小滴流ジェネレータの動作を監視する方法を提供する。【解決手段】 方法は、燃料含有の毛細管と、毛細管に取り付けられた圧電アクチュエータとを備えるシステムの共振周波数スペクトルを分析して、特に調査を必要とするシステムの特性の変化を示し得る音響システムの共振周波数の変化を探索することを含む。【選択図】 図５ |
| 申请公布号 |
JP2015511054(A) |
申请公布日期 |
2015.04.13 |
| 申请号 |
JP20140560289 |
申请日期 |
2013.02.07 |
| 申请人 |
エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． |
发明人 |
ケンペン，アントニウス;ディクスマン，ヨハン;メストロム，ウィルバート |
| 分类号 |
H05G2/00;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
H05G2/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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