| 摘要 |
一実施形態は、柱で支持されたマイクロ電子レンズアレイに関連する。このマイクロレンズアレイは、基板上のベース層（１１０）を含み、このベース層は、ベース電極パッドのアレイ（２０２）と、これらのベース電極パッドを互いに電気的に分離させるようにベース電極パッドを取り囲む絶縁境界（２０４）と、を含む。このマイクロレンズアレイは、ベース電極パッドアレイと一直線上に並ぶレンズ穴アレイ（１３０）と、レンズ穴アレイと一直線上に並ぶ開口部を有する１つ以上の積み重ね電極層（例えば、１１１、１１２、１１３、および１１４）と、をさらに含む。このマイクロレンズアレイは、１つ以上の絶縁柱層（例えば、１２１、１２２、１２３、および１２４）をさらに含み、各絶縁柱層は積み重ね電極層を支持する。別の一実施形態は、柱で支持されたマイクロ電子レンズアレイの製作方法に関連する。他の実施形態、態様、および特徴も開示される。 |
