物体交换方法、曝光方法、搬送系统及曝光装置、以及元件制造方法

主权项

一种物体交换方法，系在保持构件上交换薄板状之物体，其包含：使搬出构件位于前述保持构件上所载置之前述物体上方之动作；一边使前述搬出构件与前述保持构件相对移动于垂直方向，一边藉由感测器检测前述搬出构件与前述物体上面之间隔之动作；根据以前述感测器所检测之前述间隔之资讯，使前述搬出构件从前述物体之上面接近至既定距离之位置之动作；以及使前述物体从上方以非接触方式保持于前述搬出构件时，从前述物体下方协助藉由前述搬出构件对前述物体之保持动作，使保持有前述物体之前述搬出构件与前述保持构件分离之动作。