| 发明名称 | 分子检测感测器之微奈米金属结构及其制作方法 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI480225 | 申请公布日期 | 2015.04.11 |
| 申请号 | TW100147992 | 申请日期 | 2011.12.22 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 陈荣波;李明家;郑宗达;蔡荣源;陈顺成 |
| 分类号 | B82Y40/00;B82Y15/00;G01N21/62 | 主分类号 | B82Y40/00 |
| 代理机构 | 代理人 | 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼;涂绮玲 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼 | |
| 主权项 | 一种分子检测感测器之微奈米金属结构的制作方法，包括：提供一基板；形成一有机材料层于该基板上；形成一光阻材料层于该有机材料层上；图案化该光阻材料层以形成一微奈米级图案化光阻层；以该微奈米级图案化光阻层为遮罩蚀刻该有机材料层，以形成一微奈米级图案化有机层(micro/nano patterned organic layer)，并暴露出该基板之一部份表面；沈积一金属层于该微奈米级图案化光阻层上、该微奈米级图案化有机层上及该基板暴露之该部份表面上；以及去除该微奈米级图案化光阻层及该微奈米级图案化有机层以形成该微奈米金属结构。 | ||
| 地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 | ||