发明名称 测量偏光性质的测量方法
摘要
申请公布号 TWI480533 申请公布日期 2015.04.11
申请号 TW102147148 申请日期 2010.03.16
申请人 卡尔蔡司SMT有限公司 发明人 费欧卡 戴米安;宏 马可
分类号 G01N21/21;G01N21/41 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人 李宗德 台北市大安区敦化南路2段218号5楼A区
主权项 一种测量一光学测量物件之至少一个偏光性质的测量方法,包含:借助一测量光源产生一测量光束,具有一界定输入偏光状态,该测量光束被导到该测量物件上;侦测该测量光束在与该测量物件互相作用之后的偏光性质,以产生偏光测量值,代表该测量光束在与该测量物件互相作用之后的一输出偏光状态;评估该等偏光测量值,以决定至少一个偏光参数,代表该光学测量物件的一偏光性质;一参考强度信号的时间-相依侦测,该信号与一测量光源发出之测量光强度成正比,及对该参考强度信号,标准化偏光测量信号,以决定标准化的偏光测量信号;其特征为以下步骤:将该测量光束分成一具有一第一强度的线性偏光第一局部光束及一具有一第二强度的第二局部光束,该第二局部光束系线性偏光垂直于该第一局部光束;沿着光学偏光实质相同的光束路径,将该第一局部光束及该第二局部光束导引至一强度感测器之一感测器区之空间上分开的第一及第二感测器区带上,以产生一与该第一强度成正比的第一强度信号及一与该第二强度成正比的第二强度信号;及处理该第一强度信号及该第二强度信号,以形成一组合信号。
地址 德国