| 摘要 |
<p>본 발명은 알콕시실란, 아릴옥시실란, 또는 알킬알콕시실란으로부터 선택된 규소 함유 전구체와 할로알콕시알킬실란 또는 할로아릴옥시알킬실란을 포함하는 촉매 화합물을 포함하는 안정한 포뮬레이션으로서, 상기 규소-함유 전구체와 촉매 화합물 내의 치환체가 동일한 안정한 포뮬레이션을 개시하고 있다. 더욱 특히, 상기 포뮬레이션은 Si(OR)R의 화학식을 지니는 알콕시알킬실란 또는 아릴옥시실란을 포함하는 규소-함유 전구체와 XSi(OR)R의 화학식을 지니는 할로알콕시알킬실란을 포함하는 촉매; 또는 R(RO)Si-R-Si(OR)R의 화학식을 지니는 알콕시실란 또는 아릴옥시실란을 포함하는 규소-함유 전구체와 (RO)R(X)Si-R-Si(OR)R의 화학식을 지니는 할로알콕시알킬실란 또는 할로아릴옥시알킬실란를 포함하는 촉매를 포함하며, 여기서, R과 R치환체중 하나 이상 또는 전부가 규소-함유 전구체와 촉매 화합물 둘 모두에서 동일하다. 상기 포뮬레이션은 반도체 증착 공정, 예컨대, 유동성 규소 산화물 공정에서 사용될 수 있다.</p> |
