| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Berührungssensoranordnung mit einem optisch transparenten, elektrisch isolierenden Substrat, mindestens einem auf dem Substrat angeordneten, optisch transparenten, elektrisch leitfähigen Sensorelement und zumindest einer Kontaktierungsstruktur zum elektrischen Kontaktieren des optisch transparenten Sensorelements. Die Kontaktierungsstruktur weist zumindest eine Schicht aus einem Metalloxynitrid mit der Zusammensetzung Moa Xb Oc Nd mit b ≥ 0 auf, wobei X ein Element oder eine Kombination mehrerer Elemente aus der Gruppe der Elemente Niob, Tantal, Vanadium, Wolfram, Chrom, Rhenium, Hafnium, Titan und Zirkonium ist.</p> |
