微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置

摘要

微波导入机构（41）包括：具有将微波发射到腔室内的平面天线（81）的天线部（80）、匹配阻抗用的调谐器（60）、用于将天线部（80）的热散热的散热机构（90），调谐器（60）包括：具有呈筒状的外侧导体（52）和内侧导体（53）成为微波传递路径的一部分的主体（51）、在外侧导体（52）与内侧导体（53）之间能够移动的设置的芯部件（61a、61b）、使得芯部件移动的芯部件驱动部（70），散热机构（90）具有：热量输入端和位于天线部（80）、从热量输入端向散热端输送天线部（80）的热的热管（91）和设置于散热端的散热部（92）。

主权项

一种微波导入机构，其设置于微波传送路径，将微波导入腔室内，其中，微波传送路径传送从用于在腔室内形成微波等离子体的微波等离子体源的微波输出部输出的微波，该微波导入机构的特征在于，包括：天线部，其具有经由所述微波传送路径将微波发射到所述腔室内的平面天线；调谐器，其设置在所述微波传送路径，调整所述微波传送路径的阻抗；和将所述天线部的热进行散热的散热机构，所述调谐器，包括：主体，其为微波传送路径的一部分，具有呈筒状的外侧导体和在外侧导体中同轴地设置的呈筒状的内侧导体；芯部件，其设置于所述外侧导体与所述内侧导体之间，并沿内侧导体的长度方向能够移动，呈环状且包含电介体；和使所述芯部件移动的驱动机构，所述驱动机构包括：施加驱动力的驱动部；将来自驱动部的驱动力传达至所述芯部件的驱动传达部；引导所述芯部件的移动的驱动引导部；和将所述芯部件保持在所述驱动传达部的保持部，所述驱动传达部、所述驱动引导部和所述保持部被收容在所述内侧导体的内部，所述散热机构，包括：热管，其具有热量输入端和散热端，所述热量输入端位于所述天线部，将所述天线部的热从所述热量输入端输送到所述散热端；和散热部，其设置在所述热管的所述散热端，将所述散热端的热进行散热。