光刻参数的修正方法及系统

摘要

本发明涉及一种光刻参数修正方法及系统，该方法包括多个机台将产品输送至光刻机进行处理；于光刻机已处理批次产品中，分别收集各个机台所输送产品的数据；根据收集的各个机台所输送产品的数据，分别获取各个机台对应的修正值，每个机台对应的修正值仅根据该机台所输送产品的数据获取；根据光刻机当前批次产品对应的机台，将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻参数，修正后光刻机对当前批次产品进行处理。本发明获取准确的修正值，准确的对当前及以后批次产品进行修正，减少光阻返工问题，使得光阻返工率大大降低，保证产品批与批之间的稳定性，节约大量的人力和材料的浪费，保证产品出货时间，也提高了光刻机的利用率。

主权项

一种光刻参数修正方法，包括如下步骤：多个机台将产品输送至光刻机进行处理；于光刻机已处理批次产品中，分别收集各个机台所输送产品的数据；具体地，对各个机台设置代号，各个机台输送产品至光刻机时，获取代号，以确定已处理批次产品与各个机台的对应关系，根据已处理批次产品与机台的对应关系，按代号分别收集各个机台所输送产品的数据；根据收集的各个机台所输送产品的数据，分别获取各个机台对应的修正值，每个机台对应的修正值仅根据该机台所输送产品的数据获取；根据光刻机当前批次产品对应的机台，将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻参数，修正后光刻机对当前批次产品进行处理；具体地，在机台输送当前批次产品至光刻机时，获取机台代号，获取当前批次产品对应的机台；根据对应的机台，将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻机的光刻参数。