一种微区荧光扫描测量系统

摘要

本发明公开了一种微区荧光扫描测量系统，包括：激发光光源；激发光路部分，输入端与激发光光源连接，输出端与真空样品室相连，用于引导激光入射至真空样品室内的样品；荧光信号收集光路部分，收集样品上发出的荧光信号；微区成像光路部分，与激发光路和荧光信号收集光路相连，用于样品表面形貌的微区成像和定位；台面，激发光路部分和荧光信号收集光路部分置于台面上；二维电动平移系统，带动台面作二维扫描运动；真空样品室，用于放置样品；真空泵，用于保持真空样品室真空度；低温系统和温控装置，保持真空样品室真空度以及维持样品室处于需要的低温环境；光栅光谱仪，用于荧光信号的处理；CCD探测器，用于荧光信号的采集。

主权项

一种微区荧光扫描测量系统，包括：激发光光源，用于提供激发样品的激光；激发光路部分，其输入端与激发光光源输出端连接，输出端与真空样品室相连，用于引导激光入射至真空样品室内的样品表面，从而激发样品发出荧光信号；荧光信号收集光路部分，其输入端与真空样品室相连，用于收集样品上发出的荧光信号；微区成像光路部分，与激发光路和荧光信号收集光路相连，用于样品表面形貌的微区成像和定位；台面，激发光路部分和荧光信号收集光路部分置于台面上，用于承载激发光路部分和荧光信号收集光路部分中的元件；二维电动平移系统，台面置于其上，用于带动平台作二维扫描运动；真空样品室，用于放置样品；真空泵，用于保持真空样品室真空度；低温系统和控温装置，与真空样品室相连，用于保持真空样品室真空度以及维持真空样品室处于需要的低温环境；光栅光谱仪，与荧光信号收集光路输出端相连，用于荧光信号的处理；CCD探测器，与光栅光谱仪相连，用于荧光信号的采集；计算机数据采集系统，用于接收CCD探测器输出的光谱信号以及成像光路的图像信号，控制光栅光谱仪转动，以及控制二维运动系统和低温系统；光学平台，除计算机和低温系统外，其他部分置于光学平台上。