| 摘要 |
<p>본 발명은, 하기 화학식 (I)로 표시되는 블록 및 하기 화학식 (II)로 표시되는 블록을 포함하는 블록 공중합체를 함유하는 패턴 형성용 조성물이다. 하기 화학식 (I) 및 (II) 중, R및 R은 각각 독립적으로 수소 원자, 메틸기, 불소 원자 또는 트리플루오로메틸기이다. R는 1가의 유기기이다. R는 탄소수 1 내지 5의 (1+b)가의 탄화수소기이다. R는 헤테로 원자를 갖는 1가의 기이다. m 및 n은 각각 독립적으로 10 내지 5,000의 정수이다. a는 0 내지 5의 정수이다. b는 1 내지 3의 정수이다.</p> |
