Abscheidungssysteme mit Abscheidungskammern, die für in-situ-Metrologie mit Strahlungsbeugung ausgebildet sind, und verwandte Verfahren

摘要

Abscheidungskammern für die Verwendung mit Abscheidungssystemen umfassen eine Kammerwand, die ein transparentes Material aufweist. Die Kammerwand kann eine äußere Metrologie-Fensterfläche, die sich von einer äußeren Hauptfläche der Wand erstreckt und von dieser wenigstens teilweise umschrieben ist, und eine innere Metrologie-Fensterfläche, die sich von einer inneren Hauptfläche der Wand erstreckt und von dieser wenigstens teilweise umschrieben ist, umfassen. Die Fensterflächen können in Winkeln zu den Hauptflächen ausgerichtet sein. Abscheidungssysteme umfassen solche Kammern. Verfahren umfassen die Bildung solcher Abscheidungskammern. Die Abscheidungssysteme und Kammern können zur Durchführung einer in-situ-Metrologie verwendet werden.